气体管道安装
气体管道（gas pipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。气体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后，从管道的高压处流向低压处，也可利用气体自身的压力或重力输送。第二，气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。流速大时管径小，但压力降值增大。但泵和压缩机等动力设备的运行能耗费用增大。此外，如果流速过大，还有可能带来一些其他不利的因素。因此管径应根据建设投资、运行费用和其他技术因素综合考虑决定。
气体管道工程泄漏检查的方法有哪些？
气体管道(gas pipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。
Ai级试漏
对气路严重泄漏的粗略观察。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。通常在气源打开并稳定之后，不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声，如听到明显的漏气声，说明系统有大漏!必须依据漏气声，追查出泄漏处，并加以排除。引起系统大漏的常见原因是：气路接头没上紧，气路中管路开裂及没加合适的垫片等。查找气路的严重泄漏，也可在流 路的流量开到顶值时，用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
B级试漏
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口，观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零，即可认为此气路B级试漏合格。如转子不能降到零，可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
C级试漏
对气路中极i小漏气的检查。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。方法是堵住气路出口，观察系统压力表，不得在半小时之内有5kPa(相当于0.05kgf/cm2)以上的下降。此时系统压力应在0.25MPa(相当于2.5kgf/cm2)以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时，可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处，而气路阀件内部的泄漏也时有发生，至于管路中间的泄漏，除了急转弯处以外是很少见的。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。2、所有的管路、阀门，压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
气路系统结构及工作原理
气压系统由空压机、干燥器、滤清器、自动排水器、防冻器及各类控制阀件组成，压缩空气经多级净化处理后，供底盘行驶及车上作业使用。
一. 结构特点气压系统主要由以下组成： 压缩空气气源 动力系统控制气路 底盘气路 绞车气路 司钻控制压缩空气气源整车共用，底盘气路和绞车气路均为相对独立管路，并相互锁定；分动箱的动力操作手柄在切换发动机动力时，同时切换压缩空气气源，钻机车在行驶状态接通底盘气路，钻修作业接通绞车气路。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。当二者其一管路接通压缩空气气源时，另外一路则被切断压缩空气气源，确保设备操作安全，减少气路管线泄漏
二. 压缩空气气源1. 空气压缩机，往复活塞结构，4缸V形排列；2台，分别安装在2台发动机右侧 前部，由曲轴端皮带轮驱动；强制水冷，润滑，冷却管线与发动机冷却水道相连，润滑管线与发动机润滑系统相连。气体管道安装气体管道可能承受许多种外力的作用，包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。2. 调压阀，安装在空气压缩机缸体侧部，调定控制气压系统空气压力，调定值0.8 ±0.05 MPa，当系统气体压力升高，达到调定值时，调压阀动作发出气动信号，分两路，一路信号接通两台空气压缩机卸荷阀，顶开各气缸进气阀门，空压机置空负荷运转状态，停止向气压系统供气；另一路信号接通两台干燥器排泄口，干燥器储气室内的干燥空气迅速反向流动流，吸附干燥剂层的水份，迅速排出干燥器体外，使其干燥剂再生。系统压力低于调定值，调压阀气信号消失，空压机卸荷阀复位，空压机重新进入正常工作状态，继续向系统供应压缩空气，同时，干燥器排泄口关闭，干燥器重新开始工作，吸附干燥系统压缩空气。