废气uv光氧催化设备主要是利用高能高臭氧UV紫外线光束作为催化反应条件来进行有机废气处理，而应用于工业有机废气处理中的紫外线波长为154-254nm，波长越短能量越大。在这个波长区域中，由于154-185nm的波长相对较短所以有机废气处理反应的空间范围也较小，而184-254nm尽管能量较小，但波长长有机废气处理的空间范围相对较大。
催化燃烧阶段溶剂经风机送入到催化燃烧室前的换热器，然后进入催化燃烧室中的预热器，在电加热器的作用下，使气体温度提高到250-300℃左右，再进入催化燃烧床，有机物质在催化剂的作用下无焰燃烧，被分解为CO2和H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部提高，该高温气体再次经过换热器预热未经处理的有机气体，回收一部分热量。从换热器出来的气体再通过新风入口的换热器对脱附新鲜空气进行加热，经过换热后的气体通过烟囱引高排放。
工业有机废气低温等离子体处理设备燃烧法是处理高浓度VOC和恶臭化合物的有效方法。其原理是利用多余的空气来燃烧这些杂质，其中大部分是产生的二氧化碳和水蒸气，并可以释放到大气中。当吸附进行了一段时间,因为表面的浓度吸附剂,吸附能力显著降低,吸附净化的要求,此时,有必要采取某些措施,使吸附剂吸附吸附剂解吸,配合吸附能力,这个过程称为吸附剂的再生。VOCs气体解吸后经过冷凝器和气液分离器，纯VOCs气体离开汽提塔回收。
