氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸枪法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸枪法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸枪探头通过吸气线连接，并将吸枪探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
检漏仪调成真空模式，对检漏仪和机组进行连接，开启检漏仪，当真空度达到检漏仪开检压力后，对机组可能的泄漏点吹喷氦气，当氦气泄漏量达到检漏仪设定的报警值时，检漏仪报警。吹喷氦气时应当注意以下几点:从机组的下方到上方，靠近检漏仪处到远离检漏仪处逐步喷吹。检出大漏后要经过修补再检小漏。当存在两个邻近的漏孔时，盖住其中- -个漏孔再检测另一个。当喷吹某点时，检漏仪显示值有变化但较为缓慢，表明邻近的其他地方有较大泄漏。检漏场地应有良好通风，但不影响喷出氦气的气体流向。总结:氦质谱检漏仪在化锂吸收式制冷行业广泛应用以后，使制冷机的寿命有着明显提高，保证了化锂制冷机15年以上的使用寿命