便携式能谱仪
X 射线能谱仪作为扫描电镜的一个重要附件，可被看成是扫描电镜 X 射线信号检测器。其主要对扫描电镜的微区成分进行定性、定量分析，可以分析元素周期表中从 B-U 的所有元素信息。其原理为：扫描电镜发出的高能电子进入样品后，受到样品原子的非弹性散射，将能量传递给该原子。该原子内壳层的电子被电离并脱离，内壳层上出现一个空位，原子处于不稳定的高能激发态。
在激发后的 10-12s 内原子便恢复到很低能量的基态。在这个过程中，一系列外层电子向内壳层的空位跃迁，同时产生 X 射线，释放出多余的能量。对任一原子而言，各个能级之间的能量差都是确定的，因此各种原子受激发而产生的 X 射线的能量也都是确定的。
便携式γ能谱仪
便携式γ能谱仪探头部分由探测器（闪烁体）、光电倍增管和前置放大器构成。闪烁体是一类能吸收能量，并能在大约一微秒或更短的时间内把所吸收的一部分能量以光的形式再发射出来的物质。由于γ射线不同于α和β粒子，它类似于光和其它电磁辐射，具有很强的穿透性，容易被高电子密度的物质所吸收（如铅），某些无机盐能有效地吸收γ光子，发射出强度正比于所吸收γ射线能量的光子。当射线通过闪烁体时，闪烁体被射线电离、激发，会使闪烁体探测器产生荧光，光子被光电倍增管所接收。
所探测到的γ射线能量越高，所产生的荧光光子数目也*越多，再由光电倍增管实现光子到脉冲信号的转换，经电路信号处理完成模/数转换输出。闪烁体探测器也是近几年来发展快速。
便携式能谱仪
便携式丫能谱仪探头部分由探测器(闪烁体)、光电倍增管和前置放大器构成。例如闪烁体,用来探测丫 射线,效率较高。当射线通过闪烁体时,闪烁体被射线电离、激发,会使闪烁体探测器产生荧光,光子被光电倍增管所接收。所探测到的 射线能量越高,所产生的荧光光子数目也就越多,再由光电倍增管实现光子到脉冲信号的转换,经电路信号处理完成模/数转换输出。闪烁体探测器也是近几年来发展快速,应用广泛的探测器。
