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UV曝光过程
曝光的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 PAC（PhotoActiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于SU-8是负性光刻胶，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：
SU-8的曝光波长为365nm。
时间取决于层厚和灯的功率。
接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。
环氧树脂材料，可用于浇筑PDMS芯片，具有SU8模具的精度，又具有常规亚克力模具的耐用性。
树脂模具，一般通过SU8模具/纯硅模具先制备PDMS芯片，在通过PDMS芯片的翻模制备而成，其具有多重显著优势。
1、树脂模具能以高度jing确的方式清晰fu制PDMS芯片微结构，保持微细特征的准确性和清晰度。
2、树脂模具易于脱模，无需复杂的处理步骤，具备可重复使用的特性，极大提高了制备效率，降低了成本，尤其适用于批量生产和多次实验的场景。
3、树脂模具的应用显著减少了SU8模具/纯硅模具的使用频率，有效延长了SU8模具/纯硅模具的使用寿命。树脂模具与SU-8模具或纯硅模具相比，后者不仅制备成本高昂，而且一旦受损，无法修复。相较之下，树脂模具具备多次重复使用的能力，损坏后，可以通过PDMS芯片再次进行fu制。这一工艺简便，成本低廉，尤其对于需要大规模生产和多次fu制高精度微结构的PDMS芯片制备，树脂模具凭借其zhuo越的经济性和可靠性，表现出明显的竞争优势。
外观结构1、具有一定透明度，可透光检查模具效果及内部结构；
2、外形可与硅片类似，成圆形，上下平整，有切边。模具优点1、不用做疏水处理，脱模简单
2、不易碎裂
3、表面易清洁，可重复使用
顶旭微控提供PDMS芯片模具定制加工服务，可提供纯硅模具，SU8模具，亚克力模具，树脂模具。纯硅模具，深刻比大，精度高；SU8模具，采用光刻工艺，zui小线宽5um，深宽比zui大2：1；亚克力模具，适合大于0.1mm的流道。顶旭微控，拥有he心技术，多年加工经验，效率gao，承接科研定制，企业小批量、大批量定制。