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高纯氩气废气处理
高纯氩气废气处理可采用静电吸附技术，VOCs废气处理吸附+解吸工艺氩气废气处理吸附+解吸工艺。
吸附：VOCs高纯氩被吸附在吸附剂的多孔结构中，含VOCs的废气通过吸附剂床，洁净气体排放到大气中;
解吸：主要利用热源将吸附剂气化，再由载体进行高纯氩气体废气处理，吸附剂吸附饱和以后失去吸附性能，需要解吸再生;
吹扫：吸附剂也相应加热在加热气化过程中，温度低有利于吸附，因此需要降低吸附剂的温度。
静电吸附技术：
高纯氩静电吸附技术焊接烟气随气流进入高压电场，内部电场为双区结构，前面的区域是带电区(离子区)，烟雾在电场中通过带电区受到电晕放电产生的大量电荷的冲击和电离，使悬浮在空气中的烟雾颗粒带电。
高纯氩气
液氩是一种惰性气体，对人体没有直接危害。但是，如果工业使用后产生的废气对人体健康非常有害，会造成归肺、眼睛损伤等，虽然是惰性气体，但也是窒息性气体，但大量吸入会导致窒息。生产现场应通风，氩气相关技术人员每年应定期进行职业病体检，以确保其健康。氩气本身不会燃烧，但含有氩气容器和设备的明火的高温会急剧增加内部压力，使其爆裂，并用水冷却灭火容器。
高纯氩气的制备装置
一级净化塔TY：内装碳质脱氧剂，主要用于O2等杂质的脱除，塔内设置有电加热器，含量为99.9％的工业纯氩物流在200～320℃下脱除其中的杂质氧，并达到出口气中O2≤1ppm；换热器RJ1通过管道与一级净化塔相连，将一级净化塔的出口气降温至室温；
二级净化装置：用于在室温下除去杂质CO2和H2O，由两个并联的吸附塔XF1和XF2组成，塔内装填分子筛吸附剂、塔内设有用于分子筛再生加热的电加热器，两分子筛吸附塔XF1和XF2的进口管分别经电磁阀DF1和DF2后，再经总管与换热器RJ1出口相连，两吸附塔XF1和XF2的出口管分别串接高的过滤器GL1、电磁阀DF5以及高的过滤器GL2、电磁阀DF6后、再与总管L2相连；且GL1和GL2的出口之间由管路L3连通，管路L3上设置有电磁阀DF7；XF1和XF2的进口上分别接有放空管，两放空管上分别设置有电磁阀DF3和DF4；
三级净化塔HT：塔内装填金属吸气剂，塔内设有电加热器，塔的进口管与管路L2相连，塔的出口管上顺次设置有换热器、高的过滤器GL3。
