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气载、热气体、突变气载
a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB
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测试过程
试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。
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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器使用无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
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涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
广州潽拓光电科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
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近日,安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时,还拥有诸多全新的特点,此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的一款真空产品。
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安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑,可以任意角度安装,而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动;对于一个紧凑便携的系统而言,这些特点至关重要。
安捷伦扩散泵特点一抽气快(压力降的快)与扩散泵相比,前级泵(如罗茨泵)的抽速一般都会比较小,而且,在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降,所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高,这样,在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入,使真空设备的压力可以很多的下降。