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MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
1)沉积反应如在气固界面上发生则沉积物将按照原有固态基底(又称衬底)的形状包覆一层薄膜。
2)涂层的化学成分可以随气相组成的改变而改变从而获得梯度沉积物或得到混合镀层。
3)采用某种基底材料,沉积物达到一定厚度以后又容易与基底分离,这样就可以得到各种特定形状的游离沉积物器具。
4)在CVD技术中也可以沉积生成晶体或细粉状物质,或者使沉积反应发生在气相中而不是在基底表面上,这样得到的无机合成物质可以是很细的粉末,甚至是纳米尺度的微粒称为纳米超细粉末。
5)CVD工艺是在较低压力和温度下进行的,通过派瑞林镀膜技术可增强材料断裂强度和抗震性能是在较低压力和温度下进行的。
现代科学技术,特别是航天航空、电子及等科学技术高速发展对材料提出新的要求,尤其是航天航空工业对材料的要求更为苛刻。首先是要求材料性能稳定,同时具有重量轻、耐高温、耐冲刷、抗辐射等综合的优良性能。陶瓷涂层由此应运而生。
陶瓷涂层是在传统的陶瓷材料基础上发展起来的新型复合材料,它即保持了传统陶瓷材料的耐高温、抗磨损、耐腐蚀等优点,同时保持了基体材料的结构强度,由于陶瓷涂层的厚度通常都在1毫米之内,大大地减少了零件的消极重量,其抗热冲击性能优于整体陶瓷。
陶瓷绝缘涂料耐温600℃以下,采用无机-有机聚合物基料,体积电阻率高、结构紧密的无机晶体材料组成,如氧化铝、氮化硅等为填料,以陶瓷微粒为高温成膜物为主,组成耐高温绝缘涂料。在生产过程中严格控制原材料配比,避免杂散离子,尤其碱金属或碱土金属离子的引入;尽量减少玻璃相的含量,并尽量降低为改善工艺性能而加入的玻璃相的导电率。在生产过程中,还注意严格控制引入铁,钴等可变价金属离子,以免产生自由离子和空穴。